該芯片檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室凈化工程以“超潔凈、強(qiáng)管控、高智能”為核心,打造適配芯片精密檢測(cè)的專業(yè)環(huán)境。實(shí)驗(yàn)室采用全封閉潔凈設(shè)計(jì),墻面、地面為無(wú)縫抗菌材質(zhì),搭配高效照明與HEPA空氣過(guò)濾系統(tǒng),將空氣中微??刂圃跇O低水平,滿足芯片檢測(cè)對(duì)無(wú)塵環(huán)境的嚴(yán)苛要求。
空間布局科學(xué),設(shè)置獨(dú)立的玻璃隔離檢測(cè)艙,實(shí)現(xiàn)操作區(qū)與外部的物理隔離;各類氣路接口分區(qū)明確,不同顏色標(biāo)識(shí)的惰性氣體、壓縮空氣接口,保障檢測(cè)過(guò)程的氣體供應(yīng)安全有序。環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示溫濕度、壓差等關(guān)鍵參數(shù),確保實(shí)驗(yàn)條件穩(wěn)定可控。
走廊采用一體化潔凈設(shè)計(jì),地面藍(lán)色標(biāo)識(shí)線清晰規(guī)劃動(dòng)線,各類管線與設(shè)備布局兼顧功能性與美觀性。整體工程通過(guò)材質(zhì)選用、空氣凈化、智能監(jiān)控的協(xié)同,為芯片檢測(cè)提供了超潔凈、高穩(wěn)定的專業(yè)環(huán)境,有力保障芯片檢測(cè)的精度與可靠性,是芯片研發(fā)與質(zhì)量把控的核心技術(shù)支撐單元。