潔凈工程控制靜電產(chǎn)生,可以通過(guò)控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中相互接觸的材料,以盡量減小靜電產(chǎn)生量。控制靜電積累主要是設(shè)法 加速靜電的釋放和造成靜電得以被中和的條件。

 

　　靜電是電子在材料內(nèi)部或者在材料之間移動(dòng)（含極化和傳導(dǎo)） 的產(chǎn)物。兩種不同的材料互相接觸，它們之間的小于一定的距離，如 10-25cm時(shí)，由于隧道效應(yīng)，兩種材料內(nèi)的電子穿過(guò)界面而相互交換。當(dāng)交換達(dá)到平衡時(shí)，材料間將產(chǎn)生一定的電勢(shì)差，界面兩側(cè)出現(xiàn) 了等量正負(fù)電荷。若把接觸后的兩種材料分開(kāi)，兩種材料將分別帶上等量正負(fù)電荷，這就是靜電產(chǎn)生的基本原理。

 

　　靜電的產(chǎn)生主要有以下三種方式：摩擦起電、傳導(dǎo)帶電、感應(yīng)帶電。

 

　　潔凈工程防靜電措施應(yīng)該包括以下三條主要原則：

 

　　(1)連接工作間內(nèi)所有導(dǎo)體(包括人員)

 

　　(2)使工作間內(nèi)的非導(dǎo)體保持靜電平衡;

 

　　(3)將靜電安全工作區(qū)之間所有對(duì)靜電敏感的物件裝人靜電防護(hù)罩內(nèi)：

　　以上三條很重要,必須按次序操作。其中,接地是最重要的一項(xiàng)。如果孤立的導(dǎo)體帶了電,將它接地就可使靜電釋放。通過(guò)這種方法 ,設(shè)備、材料和許多適合潔凈工程的諸如印制電路基板、人造織物、塑料運(yùn)送盤、聚四氟乙烯(tefon)等一些非導(dǎo)電材料,不能用接地的 方法將靜電消除。那么就需要其他方法以中和電荷。對(duì)存在于絕緣體和與大地隔離的導(dǎo)體上的靜電,實(shí)際上，潔凈工程中還經(jīng)常用空氣 離子發(fā)生器來(lái)對(duì)付它。空氣離子發(fā)生器可以產(chǎn)生正、負(fù)空氣離子團(tuán),去中和潔凈工程內(nèi)的靜電。

 

　　在潔凈工程內(nèi)使用的空氣離子發(fā)生器,必須符合與其他設(shè)備相容的一般方針,而且空氣離子發(fā)生器的運(yùn)用應(yīng)不產(chǎn)生潔凈室污染。空 氣離子是空氣中失去或得到電子的氣體分子。在潔凈室中最一般的獲得空氣離子的方法是利用電暈電離器。在空氣離子發(fā)生器里,將很 高的電壓加到發(fā)射極尖端上,形成冠狀電場(chǎng),從而會(huì)很容易將空氣分子的電子移走,也就是使空氣發(fā)生電離。

 

　　當(dāng)電離的空氣與帶電的絕緣體表面接觸時(shí),帶電表面就會(huì)吸引極性相反的空氣離子,從而消除靜電。因?yàn)闈崈艄こ讨性斐伸o電帶電 的電荷,既有正電荷,也有負(fù)電荷。所以,中和這些靜電,就既需要正空氣離子,也需要負(fù)空氣離子。

 

　　靜電一般情況下是“難以看見(jiàn)，且不易摸著”，但其又近乎是無(wú)處不在、無(wú)時(shí)不有，所以靜電防護(hù)是一項(xiàng)綜合的系統(tǒng)工程，從原則上 說(shuō)靜電防護(hù)應(yīng)從控制靜電的產(chǎn)生和控制靜電的消散兩方面進(jìn)行，控制靜電產(chǎn)生主要是控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中材料的選擇，控制靜 電消散則主要是快速而安全地將靜電釋放和中和。